產品特點
    采用射頻放電，無燈絲，壽命長，減少維護，可長時間穩定工作；單電荷離子，幾乎沒有對屏柵的濺射，消除柵網污染問題，且離子能量及束流可寬范圍內精確控制；更廣泛的工藝氣體，一些特殊的高性能光學薄膜(附著力、折射率、硬度、低吸收和低漂移等)只能用射頻寬束離子源進行離子束輔助沉積工藝來完成；柵網采用異形鉬網，允許聚束或發散；尺寸小，適合緊湊空間，通常采用法蘭安裝，也可根據需求進行定制。